Kai ilgis viena kryptimi yra mažesnis už ilgį kitomis dviem kryptimis, ši struktūra vadinama plona plėvele. Šiais laikais pramoninėje gamyboje ir žmogaus gyvenime nuolat taikant mikroelektronines plėveles, optines plėveles, antioksidacines plėveles, milžiniškas magnetorezistines plėveles, aukštos temperatūros superlaidžias plėveles ir kt., pramonėje gaminamų plėvelių storis yra labai svarbus parametras, tiesiogiai Tai susiję su ar plėvelės medžiaga gali normaliai veikti.
Paprastai plėvelės storis reiškia atstumą tarp pagrindo paviršiaus ir plėvelės paviršiaus. Tiesą sakant, plėvelės paviršius yra nelygus ir nenutrūkstamas, o paviršiuje yra skylučių, mikro įtrūkimų, pluošto siūlų, nešvarumų, gardelės defektų ir adsorbuotų molekulių. Pavyzdžiui, įvairios plonos plėvelės didelio masto integrinių grandynų gamybos procese turės tiesioginės įtakos integrinių grandynų veikimui dėl nuolatinio grandinės integravimo laipsnio tobulinimo ir bet kokių nedidelių plonos plėvelės storio pokyčių. Be to, plonasluoksnių medžiagų mechaninės savybės, šviesos pralaidumo savybės, magnetinės savybės, šilumos laidumas, paviršiaus struktūra ir kt. yra glaudžiai susijusios su storiu. Todėl tikslus internetinis plėvelės storio matavimas gamybos procese yra svarbi priemonė gaminio kokybei užtikrinti ir gamybos efektyvumui gerinti.
Tikslus plėvelės storio matavimas priklauso nuo to, koks storio jutiklis naudojamas. Šiuo metu daugiausia yra keli internetinės plėvelės storio nustatymo technologijos metodai:
1. Beta zondas yra seniausias jutiklis, naudojamas plonų plėvelių aptikimui. Jis naudoja beta spinduliuotės šaltinį kaip signalo šaltinį, o technologija yra brandi. Tačiau radioaktyviųjų šaltinių naudojimui reikalinga licencija, o importo ir eksporto procedūros yra gana sudėtingos. Yra pusinės -tarnavimo trukmės riba, o aptikimo tikslumas mažės silpstant radioaktyviajam šaltiniui.
2. Infraraudonųjų spindulių zondai naudoja principą, kad tam tikros infraraudonųjų spindulių juostos yra stipriai sugeriamos konkrečiose plastikinėse plėvelėse, kad būtų matuojamas plėvelės storis. Jutiklis aptinkamas stabiliai ir jo neveikia aplinkos pokyčiai, tačiau jis yra jautrus priedų ir spalvų pokyčiams, todėl netinka gaminti kelių produktų toje pačioje gamybos linijoje.
3. Rentgeno spindulių zondas naudoja rentgeno vamzdį, kad generuotų rentgeno spindulius kaip signalo šaltinį plastikinės plėvelės storiui nustatyti. Yra daug privalumų: skraidančios radioaktyviosios medžiagos; mažas energijos suvartojimas nereikalauja licencijos; platus matavimo diapazonas; didelis matavimo tikslumas; visų rūšių plastikus galima išmatuoti be priedų ir spalvos pagrindinio mišinio.
Šiuo metu plėvelės storio matavimo prietaisas buvo sukurtas iki didelio tikslumo ir automatizavimo bei pasiekė labai aukštą lygį. Jo matavimo tikslumas yra nuo ±2% iki ±5% išmatuoto plėvelės storio bendram plėvelės sluoksniui ir ±2nm plonai plėvelei, turi mikro ploto matavimo funkciją, greitą matavimo greitį ir aukštą automatizavimo laipsnį. Ypač tobulėjant technologijoms ir taikant tikslius prietaisus, be aukščiau minėtų aptikimo technologijos metodų, plėvelės storis taip pat gali būti matuojamas ultragarso jutikliu. „Gongcai-MB7480“ rekomenduojamas „MaxBotix“ ultragarsinis jutiklis yra didelio našumo ultragarsinis tikslumo atstumo matuoklis, galintis atlikti didelio tikslumo ir didelės skiriamosios gebos ultragarsinį atstumo matavimą ore.
